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Chiaro - 플라즈마 클리너Chiaro는 MCA와 유사하나 turbomolecular pump 장착으로 구분됩니다. 옵션으로 선택 가능한 광학 현미경을 장착하여 시료들을 플라즈마 컨디셔닝시에 관찰하거나 시료의 잠재적인 액체/기체 유출 여부를 확인할 수 있습니다. 고진공 상태에서의 플라즈마 프로세싱은 플라즈마 활동을 더욱 증가시킵니다. TEM 홀더 내에서 기체 및 액체 시료 셀들을 볼 수 있게 하기 위하여, Chiaro는 유출 검사, 시료장착 중 기체/액체 E-Chip 확인, 표면 친수화, 플라즈마 프로세싱과 같은 기능을 수행합니다. -
Mobile Cubic Ahser(MCA) - 플라즈마 클리너SEM/TEM 샘플/홀더 및 기타 여러가지 소형 물품을 소형 챔버내에서 세척 할 수 있는 이동식 플라즈마 크리너입니다. Qwk-Switch™ Source가 SEM 혹은 FIB의 고정형 챔버로 이동 장착을 가능하게 합니다.
MCA chamber는 휴대용 S/S cart에 장착된 ibss 시그니쳐 GV10x Downstream plasma를 통하여 3개의 TEM 홀더 및 다양한 샘플을 보관 및 세척 할 수 있습니다. -
GV10x DS Asher - 플라즈마 클리너기존의 cold trapping, nitrogen purging 및 기타 플라즈마 크리너를 이용하여 오염을 완화하던 방식에서 GV10x Downstream Asher의 탄소 오염 제거 능력은 큰 발전을 이룩하였습니다. 더 확장된 출력 및 압력 범위 (10~99 watts 및 2 ~ <0.005 Torr)를 탑재한 GV10x는 SEM과 같은 분석 장비의 탄소 및 탄화수소 오염조절 분야에서 패러다임의 변화를 불러왔다 해도 과언이 아닙니다. 산소 및 수소 라디칼이 표면 상의 탄소 오염을 기체 형태로 바꾼 후, 단순히 고정시키거나 잠시 가두는 것이 아닌 chamber 외부로 바로 배출되면서 완벽히 오염을 제거합니다.
ibss Group, Inc. 은 2가지 종류의 콘트롤러와 플라즈마 소스를 제공합니다. 연구소 환경에서 선호되는 제품들은 벤치탑 컨트롤러와 2U 컨트롤러입니다. ibss GUI 소프트웨어는 모든 콘트롤러와 호환 가능합니다. -
GV10x UHV DS Asher - 플라즈마 클리너인터넷 검색을 통하여 찾은 경쟁업체의 플라즈마 크리너들은 HV(고진공)에는 호환되지만 UHV (초고진공)에는 적합하지 않거나 사용하지 못할 것입니다. HV 플라즈마 소스를 UHV에 호환하기 위해 필요한 부품들은 비싼 격리 밸브 및 사전펌프 부품들을 요합니다.
GV10x UHV DS Asher는 UHV chamber에 장착하여 millitorr 범위의 초고진공 상태(TMP 100%)를 유지한 채로 플라즈마 세척을 가능하게 하며, 이후에도 제거가 필요 없는 디자인으로 설계되었습니다 이 고정형 플라즈마 소스는 그 어디에서든 유일하며, 비싼 격리 밸브와 사전펌프의 설치가 필요 없습니다.
혁신적인 플라즈마 소스 설계를 통해 GV10x UHV 다운스트림 애셔는 싱크로트론 광학에서 탄화수소 오염을 기존의 타 방식들보다 10배에서 20배까지 더 효율적인 오염 제거 능력을 보여주었습니다.
