GV/GA - 플라즈마 클리너
Gentle Asher는 샘플을 전자현미경 챔버에 로딩하기 전, 시료세척을 먼저 실행하기 위해 고안된 확장성을 가진 제품입니다. GV10x와 결합된 Gentle Asher Chamber는 black scan square deposit을 예방하는 데에 가장 이상적인 제품입니다.
GVGA는 예전 방식의 플라즈마 크리너와 다르게 플라즈마 입자들이 가속하지 않은 채, 30ev 이하의 에너지로 순방향으로 이동하며 ion sputter 및 샘플 표면 손상없이 오염을 제거해줍니다. GV10x plasma source에서 생성된 O2은 hydrocarbon을 화학적으로 분해하여 CO2,CO 그리고 H2O의 형태로 결합하여 펌프를 통해 배출됩니다.