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Säntis 300/Full wafer CL SEM
Allalin/FA CL SEM
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Attomap/CL Data analysis system
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Allalin/FA CL SEM
Blazing fast quantitative cathodoluminescence microscope
The Allalin is a nanometer resolution spectroscopy instrument, based on a disruptive technology known as quantitative cathodoluminescence that integrates a light microscope and a scanning electron microscope (SEM) into one tool.
Säntis 300/Full wafer CL SEM
Full wafer cathodoluminescence microscope
The Säntis 300 system has been designed for fully automated control of 150, 200 and 300mm wafers.
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