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EM ACE600 코팅기의 특징

EM ACE600은 스퍼터링, 탄소 실, 탄소 붕 및 전자빔 증착 코팅 방법을 지원합니다. 진공을 깨지 않고 동일 기기에서 최대 2가지 방법을 연속적으로 사용할 수 있습니다. 

또한 기기에서 글로우 방전을 수행할 수 있습니다. 개별 활용 목적에 따라서 가장 좋은 방법을 선택할 수 있게 합니다. 

이것은 금속 진공 챔버에 장착된 기울어진 소스와 100mm 이상 크기의 시료 스테이지 막이 균일하게 분포될 수 있도록 하는 회전 스테이지로 가능하게 됩니다. 

이러한 구성 덕분에 일반 코팅기를 극저온 스테이지(Cryo-stage)가 있는 코팅기로 업그레이드할 수 있어 동결 파단 작업(Freeze fracture application)을 수행하고 EM VCT500에 연결할 수 있습니다. ACE600은 전자현미경을 위한 최적의 코팅기입니다.

- 미립자 금속층으로 명암 향상됩니다.

- 나노미터 두께이지만 견고한 탄소막을 만듭니다.

- 가장 작은 특징까지 관찰할 수 있도록 시료를 회전 쉐도잉합니다.

- 극저온 코팅으로 전환합니다.

마지막 단계에서 무슨 일이 있는지를 알 수 있습니다. 

정밀하게 측정되고 안정된 파라미터들은 재현 가능한 성능을 보장하는데 중요 요소입니다. 

완전히 자동화된 코팅 과정이 각 진행을 위해 같은 조건에서 실험을 할 수 있게 합니다. 게다가 기기의 작동이 간단합니다.

특수한 밸브의 해결책이 시료 스테이지의 중간에 위치한 두께 측정 장치(Quartz crystal thickness measurement)와 함께 

스퍼터 코팅 동안에 정확하고 안정된 아르곤 압력을 보장하고 이는 결과를 완전히 조절할 수 있게 합니다. 

코팅된 막에 대한 입도(granualrity)에 가장 중요한 요소인, 사전 진공도(Pre-vacuum level)는 

고분해능 이미지를 위해서 10-6mbar의 낮은 값이나 매우 빠르게 시료를 처리하기 위해서 10-4mbar범위로 설정될 수 있습니다. 

초박막 탄소 막 

탄소코팅은 다양한 전자 현미경 실험에서 사용됩니다. 탄소는 전도성을 갖지만 전자 빔에서 보이지 않고 입자 구조를 갖고 있지 않습니다.

TEM 분석을 위한 절편 위에 얇은 막이나 SEM 영상화를 위해 약간의 전도성을 주기위해서만 사용될 수 있습니다. 

뿐만 아니라, 많은 시료들이 TEM 그리드 위에 탄소 막 처리를 필요로 합니다. 막은 가능한한 얇고 견고하고 안정적이어야 합니다. 

조정할 수 있는 펄스 탄소 실 방법(Pulsed carbon thread method)으로 오염 감소를 위해 베이크 아웃이 될 수 있는 박막을 만듭니다. 

가장 작은 특징까지 관찰

단백질이나 DNA 구조 같이 nm크기의 구조를 볼 수 있게 하기 위해서 특수한 코팅이 필요합니다. 

낮은 각도로 코팅을 하면 눈에 보이는 그림자가 만들어 집니다. 이를 달성하기 위해서, 코팅은 방향성이 있어야 하며 미세한 입자여야합니다. 

그리고 정밀한 한 자리수의 각도에 있어야 합니다. 전동식 3축으로 이동 가능한 시료 스테이지와 함께 전자 빔 소스는 이 모든 특징들을 제공합니다. 

Leica Science Lab 참고자료 : Glycerol Spraying/Platinum Low Angle Rotary Shadowing of DNA

시료를 빔 손상으로부터 보호 

종종 손상되기 쉬운 많지 않은 전자현미경 시료들은 사전에 많은 단계와 시간 동안에 준비 되었기때문에, 

전자 빔에서 분석되는 동안에 보호되어야합니다. 중금속 코팅은 빔 손상으로부터 시료를 보호할 것입니다. 

목표는 관심 영역을 덮지 않도록 가능한 얇지만 충분히 시료를 보호하고 신호와 전도성을 향상시키는 것입니다. 

한층 더 보호합니다.

시료는 코팅 과정 자체에서 발생하는 열로부터 보호되어야 합니다. EM ACE600이 제공하는 모든 코팅 방법은 시료에 열을 전달하지 않도록 최적화되어 있습니다. 

조정되는 탄소 실 펄싱 (Carbon thead pulsing)은 다음 펄스를 위해 사용되는 전력은 각 펄스 전에 실의 저항 측정으로 조절되게 합니다. 

이와 같은 이유로 실이 한 번의 펄스를 위해 너무 불안정하게 되면 다음 실 구간(4개 이용가능)으로 이동해서 불필요한 열 발생을 방지합니다. 

스퍼터링 과정은 대상 물질에 이온들을 집중시키는 위해 자기장으로 작업이 되기 때문에 코팅 물질을 방출하는데 적은 전력이 필요합니다. 

전자빔 증착은 빛을 내는 필라멘트로부터 시료를 가리기 위한 셔터와 작은 구멍 시스템으로 작업이 됩니다. 

진공 극저온 전환 시스템인 Leica EM VCT500을 코터에 연결하여, 시료 오염없이 Cryo SEM Sample 준비에 이상적입니다.

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Leica EM ACE600